SEMI-e 深圳國際半導(dǎo)體展暨2025集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新展,將于2025年9月10-12日在深圳國際會(huì)展中心(寶安新館)開幕。ACCU(北京精量科技)將攜帶眾多產(chǎn)品亮相16館-16C71展位,誠邀業(yè)界同仁蒞臨,交流行業(yè)動(dòng)態(tài),共探合作機(jī)遇。
精量科技
展品
ACU20FE科里奧利質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
無熱漂移,可以忽略的溫漂和時(shí)漂
量程范圍:0~(20g/h-1000kg/h)
精度氣體測(cè)量可達(dá)±0.5% F.S,液體可達(dá)±0.25% F.S
響應(yīng)速度快、調(diào)節(jié)速度快
ACU20FD高精度質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
熱式原理,響應(yīng)快,精度高
準(zhǔn)確精度:±0.5%F.S
管狀分流,不易堵塞
模擬量輸入/輸出;同時(shí)帶有485/232Modbus數(shù)字通訊,可選擇DeviceNET,EtherCAT,Profibus-DP等協(xié)議。
可選配全氟橡膠密封,部分量程可選配金屬密封。
ACU20FCH高溫質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
量程范圍:0~(2SCCM~500SLM)
準(zhǔn)確精度:±0.5%F.S
可快速精確測(cè)量高溫介質(zhì)(液體、氣體或蒸汽)的體積流量/質(zhì)量流量
測(cè)量溫度:-20℃~350℃左右
ACU20P高精度壓力控制器/壓力計(jì)
精度≤±(0.2~0.5)% F.S
該系列儀表精確度高、重復(fù)性好,單閥系列分為前壓控制和背壓控制(上、下游壓力控制)
雙閥壓力控制器可穩(wěn)定調(diào)節(jié)密閉容器壓力
ACU20CEM 可控蒸發(fā)混合器
可選配置:
液體流量控制器(控制液態(tài)源流量);
一臺(tái)或多臺(tái)氣體流量控制器(控制載氣流量);
溫度可調(diào)的混合蒸發(fā)器(用于液體汽化);
流量、溫度顯示控制儀(設(shè)定流量或溫度);
蒸發(fā)器出口可接入氣體質(zhì)量流量控制器,對(duì)產(chǎn)出的蒸汽進(jìn)行稀釋。
CEM 系統(tǒng)可獨(dú)立實(shí)現(xiàn)液體流量、氣體流量、蒸發(fā)溫度的控制。也可通過 MODBUS 或 DEVICENET 等協(xié)議集中控制。
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